氮气纯化装置是指利用物理或化学的方法，除去氮气中杂质，提升氮气纯度的装置，该设备常用于医药、化工、电力、冶金等行业。常见的纯化设备可分为有氢氮气纯化设备、微氢氮气纯化设备和无氢氮气纯化设备3种，它们的主要区别是在处理氮气过程中是否需要引入氢气以及如何处理含有的氧气；具体来说：

有氢纯化设备：一定流量的氮气和氢气同时进入纯化装置，在催化剂作用下，氮气中的残氧与氢反应生成水。然后氮气经过吸附干燥和脱水等步骤，得到高纯度氮气。

微氢纯化设备：一定流量的氮气通入吸附塔中，氧气与吸附剂反应被消耗，高纯氮气被分离。之后使用一定量的氢气还原吸附剂。氢气消耗量小。

无氢纯化设备：不需要额外添加氢气，在脱氧剂作用下，氮气中残留的氧与脱氧剂反应生产二氧化碳。生产的二氧化碳再经过分子筛吸附塔被去除，从而得到提高纯度的氮气。

以上各种纯化工艺都可以产出高纯氮气。